Особенности структуры и фазового состава покрытий нитридов титана и хрома, полученных методом ионно-плазменного осаждения - Глушкова, Д. Б.; Воронков, А. И.; Калинина, Н. Е.; Калинин, В. Т.; Воронков, О. І.; Калініна, А. Є.; Калінін, В. Т.; Hlushkova, D.; Voronkov, A.; Kalinina, N.; Kalinin, V. (Харківський національний автомобільно-дорожній університет, 2020)
Методом структуры анализа исследованы фазовый состав, текстура и напряженное состояние в покрытиях на основе систем Ti-N, Cr-N, Ti-Cr-N, полученных методом плазменного осаждения. В выявленных фазах (TiN,Cr2N) обнаружена текстура и значительные сжимающие напряжения, достигающие ~ 3 ГПа. Обсуждены факторы, влияющие на уровень остаточных напряжений, предложена модель формирования напряженного состояния в покрытиях нитрида титана и хрома.
Особливості структури і фазового складу покриттів нітриду титану і хрому, отриманих методом іонно-плазмового осадження
Specific features of the structure and phase composition of coatings of titanium and chromium nitrides obtained by ion-plasma deposition
Keywords: нитриды титана; нитриды хрома; рентгеновская дифрактометрия; покрытия; остаточные напряжения; текстура; фаз. состав; нітрид титану; нітрид хрому; рентгенівська дифрактометрія; покриття; залишкові напруги; фаз. склад; titanium nitrides; chromium nitrides; X-ray diffractometry; coatings; residual stresses; texture; phases. composition; 621.785