Дослідження фізико-механічних властивостей вакуумно-дугових багатошарових TiN-MoN покриттів

Abstract

В кваліфікаційній роботі виконується дослідження багатошарових покриттів MoN-TiN. Мета роботи: дослідження фізико-механічних характеристик, морфології, кристалічної структури та елементного складу нанокристалічних надтвердих багатошарових покриттів, які сформовано вакуумно-дуговим методом в діапазоні температур підкладки від 120 ºС до 470 ºС. Методи досліджень: кристалічна структура та морфологія плівок досліджувалась за допомогою мікроіндентації, растрової електронної мікроскопії, рентгенівської дифрактометрії, рентгенівської спектроскопії. Нанокристалічні надтверді (Н ≥ 40 ГПа) покриття TіN-MoN були отримані з використанням модернізованої вакуумно-дугової установки "Булат-6". Твердість покриттів була визначена з використанням мікроіндентора "Мікрон-Гама". З використанням растрової електронної мікроскопії досліджено морфологічну структуру надтвердих покриттів MoN-TiN, які сформовано вакуумно-дуговим методом, в тому числі з використанням імплантації іонів у процесі осадження. Отримано дані щодо їх твердості, модуля пружності, кристалічної структури та фазового складу в залежності від умов формування. Основні результати роботи, їхня актуальність зумовлюється необхідністю створення та дослідження дослідно-промислових технологій нанесення надтвердих від 40 ГПа до 50 ГПа наноструктурних багатошарових покриттів на основі нітридів металів ІV-VІ груп таблиці Менделєєва.