Дослідження механізмів, відповідальних за приріст твердості в покриттях нітридів перехідних металів

Abstract

В кваліфікаційній роботі виконується визначення технологічних факторів (тиск азоту, значення постійного та імпульсного потенціалів на підкладці), а також матеріалу підкладки на структуру і фізико-механічні властивості покриттів, на приріст твердості при переході від мікрокристалічного до нанострукурного стану. Визначено вплив на приріст твердості стискаючих макронапружень в покриттях нітридів титану і молібдену. Отримано дані щодо їх твердості, модуля пружності, кристалічної структури та фазового складу в залежності від умов формування. Актуальність зумовлюється необхідністю дослідження технологій нанесення надтвердих (40-50 ГПа) наноструктурних покриттів нітридів металів ІV-VІ груп таблиці Менделєєва для їх застосування на машинобудівних підприємствах України.